Les microprocesseurs modernes contiennent des compteurs de performance matériels qui permettent de mesurer les différents événements matériels liés au comportement de l'UC. Les événements matériels incluent les échecs d'instruction et de mise en cache des données, ainsi que divers états internes du processeur. Des données obtenues à partir des compteurs de performance peuvent être utilisées pour analyser et régler le comportement des logiciels sur un type de processeur particulier. Le SE Solaris 10 5/09 fournit l'accès à des compteurs de performance de l'UC (cpc, CPU Performance Counters) via l'interface libcpc(3LIB) et les utilitaires cputrack (1) et cpustat(1M).