ZFS también permite utilizar los archivos UFS como dispositivos virtuales en la agrupación de almacenamiento. Esta función se aplica sobre todo a verificaciones y pruebas sencillas, no es apta la producción. El motivo es que cualquier uso de los archivos se basa en el sistema de archivos subyacente por motivos de coherencia. Si crea una agrupación ZFS respaldada por archivos en un sistema de archivos UFS, de forma implícita depende de UFS para garantizar la corrección y una semántica síncrona.
Sin embargo, los archivos pueden ser bastante útiles al probar ZFS por primera vez o experimentar con configuraciones más complejas cuando no hay suficientes dispositivos físicos. Se deben especificar todos los archivos como rutas completas y deben tener al menos 64 MB de tamaño.