ZFS에서는 모든 데이터 및 메타 데이터가 사용자가 선택 가능한 체크섬 알고리즘을 통해 확인됩니다. 체크섬 확인 기능을 제공하는 기존 파일 시스템에서는 볼륨 관리 계층과 기존의 파일 시스템 설계로 인한 필요로 블록별 기준으로 작업이 수행되었습니다. 따라서 이러한 기존 설계에서는 전체 블록을 잘못된 위치에 기록하는 등의 특정 문제로 인해 잘못되었지만 체크섬 오류가 없는 데이터가 발생할 수 있습니다. ZFS 체크섬은 이러한 오류를 감지하고 이를 올바르게 복구할 수 있는 방식으로 저장됩니다. 모든 체크섬 확인 및 데이터 복구는 파일 시스템 계층에서 수행되며 응용 프로그램에는 영향을 주지 않습니다.
또한 ZFS는 자체 치유 데이터를 제공합니다. ZFS는 저장소 풀에 다양한 레벨의 데이터 중복성을 지원합니다. 잘못된 데이터 블록이 감지되면 ZFS는 다른 중복 복사본에서 올바른 데이터를 가져와서 잘못된 데이터를 올바른 데이터로 교체합니다.