サイレントインストールの失敗: 「応答ファイルに互換性がないか、破損している」

使用時と同じプラットフォーム上で作成された応答ファイルを使用している場合、不明なファイルの破損エラーが原因で問題が発生している可能性があります。新しい応答ファイルを生成して再インストールしてみてください。

詳しくは、「応答ファイルの作成」を参照してください。